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処理の各ステップでは、コンピューターで制御される専用の装置によってウェーハーをテストします。このような装置としては、原子のレベルで動作を解析するものもあります。メタライゼーションの処理が終わると、ウェーハー上のすべてのチップを再びテストします。この厳しい電気的なテストをパスしたチップは、高速回転する水冷式のダイヤモンド・カッティング・ソーによってウェーハーから切り取り、モジュールと呼ばれる金属またはプラスチックのパッケージに収めます。このモジュールも再びテストします。

情報の1単位を記憶する小さいメモリーセルを一つずつテストするだけでなく、あらゆる回路もテストしなければなりません。8インチウェーハー1枚だけでも地球上の全人口に匹敵する数のメモリーセルを持っているため、信頼性の高いチップを生産するには細心の注意と極めて高い精度が要求されるのです。

ウェーハーのテスト イメージ